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超超精密纳米机床上线了1车床最大车削直径φ2100mm2工作台最大承重300kg3主轴回转精度0.2um4工作台在φ2100mm处实测精度径向跳动≤0.003mm轴向跳动≤0.002mm5拖板X坐标(横向)移动范围1050mm6滑板Z坐标(竖向)移动范围350mm7主轴采用直线电机8快移速度(X、Z)10m/min9... 查看全文

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